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作者: aeks | 发布时间: 2025-12-07 09:02
学科: 动力工程及工程热物理 材料科学与工程 电子科学与技术 电气工程
介电电容器是储能系统的关键器件，但优化储能密度与热稳定性存挑战。本研究开发每秒1000°C的闪速退火工艺，1秒内制备锆酸铅薄膜，锁定高温微观结构，实现63.5焦耳/立方厘米储能密度及250°C下性能衰减<3%，且可晶圆级扩展，为片上储能提供工业方案。
标签: 储能密度 弛豫反铁电体 晶圆级制备 热稳定性 闪速退火
