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作者: aeks | 发布时间: 2026-02-01 02:01
学科: 光学工程 材料科学与工程 物理学 电子科学与技术
真空紫外光源（100-200 nm）对先进光谱学、量子研究和半导体光刻至关重要。现有非线性光学晶体存在不足，本研究开发氟氧硼酸盐晶体ABF，实现158.9 nm激光输出，177.3 nm处脉冲能量达4.8 mJ，转换效率5.9%，为紧凑型高功率真空紫外激光器提供新材料。
标签: NH₄B₄O₆F(ABF) (NH4B4O6F(ABF)) 氟氧硼酸盐晶体 真空紫外光源 非线性光学晶体