标签: 并行制造

随着先进材料、微型器件和集成微系统需求的增长，3D激光纳米制造因视场限制面临吞吐量等挑战。本文提出超透镜阵列并行双光子光刻平台，实现厘米级写入，吞吐量超每秒1亿个体素，可制造113纳米特征尺寸结构，有望推动晶圆级生产，应用于微电子、生物医药等领域。

标签: 3D纳米光刻 双光子光刻 并行制造 超透镜阵列