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纳米光波导芯片的光束扫描技术

作者: aeks | 发布时间: 2026-03-12 03:02

学科: 光学工程 电子科学与技术 纳米科学与工程 集成电路科学与工程

纳米光波导芯片的光束扫描技术

本文介绍一种新型‘光子滑雪跳台’芯片器件:将纳米级光波导直接集成在压电微悬臂梁上,实现从芯片表面直接发射并高速二维扫描高质量激光光束。它突破了传统光学扫描技术在光束质量与可扩展性之间的固有矛盾,为激光雷达、全息显示、量子计算和生物成像等应用提供了高效、紧凑、可量产的‘芯片到世界’光学接口。

标签: 二维光束扫描 光子滑雪跳台 压电微悬臂梁 芯片到世界接口 集成光子电路