标签: 五氧化二钽

本文提出一种新型三维单片集成光子技术：将五氧化二钽（Ta₂O₅）光子器件直接全晶圆级、无缝集成到已刻蚀图案的薄膜铌酸锂（LN）衬底上。该技术兼顾低损耗、强非线性与电光调控能力，首次在单一芯片上同时实现高效率二次谐波产生（χ⁽²⁾）和四波混频（χ⁽³⁾）等多种频率转换功能，为高性能、低成本、可量产的集成光学芯片开辟新路径。

标签: 五氧化二钽 准相位匹配 薄膜铌酸锂 非线性频率转换