标签: 超薄铁电薄膜

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超薄氧化铪锆薄膜中发现新型铁电相

作者: aeks | 发布时间: 2026-05-31 10:01

学科: 材料科学与工程 物理学

研究人员首次在1.5纳米厚的铪锆氧化物(HZO)薄膜中发现一种罕见的铁电相(Pmn21正交相)。这种新相不同于以往常见的铁电结构,其出现与薄膜变薄导致晶格沿垂直方向膨胀密切相关,能显著提升铁电性能,为低功耗、可量产的新型存储器和传感器提供新可能。

标签: Pmn21相 晶格膨胀 结构相变 超薄铁电薄膜 铪锆氧化物