可重新配置的毫米波微型芯片:氮化硼开关与氮化镓芯片合二为一
作者: aeks | 发布时间: 2026-08-11 00:06 | 更新时间: 2026-08-11 00:06
学科分类: 信息与通信工程 电子科学与技术 集成电路科学与工程
单片微波集成电路(MMIC)是支撑5G及未来6G通信的关键技术。但传统MMIC在集成高频开关时面临面积大、成本高、性能受限等瓶颈。本文提出一种创新方案:利用二维材料六方氮化硼(hBN)制成忆阻型射频开关,并将其直接集成在GaN MMIC芯片的后端工艺(BEOL)层上。研究团队成功制备出工作频率高达100 GHz的宽带开关,插入损耗低至0.3 dB,隔离度优于15 dB;开关状态可稳定保持2周以上,在175℃高温下导通电阻仍保持稳定;线性功率处理能力优异(实测至18 dBm时波动仅±0.28 dB),外推1-dB压缩点达30.52 dBm。为驱动开关,团队采用“一个晶体管+一个忆阻器”(1T1M)单元结构,实现3250次可靠循环,显著提升二维材料忆阻开关的耐久性。更重要的是,该技术已成功拓展至多种可重构微波功能器件——包括可编程衰减器、威尔金森功分器和可调谐谐振器,全部在同一块GaN芯片上单片集成。这标志着忆阻器从器件级突破迈向电路级实用化的重要一步,为未来高集成度、低功耗、软件定义的毫米波通信芯片提供了全新技术路径。