氧化镓半导体在常温下也能稳定保持“铁电性”

作者: aeks | 发布时间: 2026-03-03 12:08 | 更新时间: 2026-03-03 12:08

学科分类: 材料科学与工程 电子科学与技术 集成电路科学与工程

长期以来,宽禁带半导体(如碳化硅、氮化镓和氧化镓)因具有高击穿电场和耐高温特性,被广泛用于高功率、高频电子设备;而铁电材料则因具备可翻转的自发极化,成为非易失性存储器的核心。但二者长期被认为‘水火不容’:宽禁带半导体需要刚性晶体结构来保障电学稳定性,而铁电性却依赖离子的柔性位移来实现极化翻转。这一根本矛盾严重阻碍了功率器件与存储器的单片集成。

本研究成功破解了这一难题——在亚稳态κ相氧化镓(κ-Ga₂O₃)中首次证实了室温下强健、本征的铁电性。研究人员采用工业界通用的金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,在掺铌钛酸锶(NSTO)衬底上外延生长出高质量κ-Ga₂O₃薄膜,并系统验证了其从151纳米到仅5纳米厚度均具备稳定铁电响应。通过压电力显微镜(PFM)、二阶谐波产生(SHG)和宏观电滞回线测量等多尺度表征,确认该材料存在可逆的180°极化翻转、优异的开关保持性(4小时衰减极小)以及高达千万次(>10⁷次)的循环耐久性。

关键突破在于揭示了其独特的原子级开关机制:极化翻转并非靠传统铁电体中的离子跳跃,而是通过镓氧八面体与四面体之间的协同构型转换完成,整个过程不破坏化学键,能垒极低(仅26.4 meV/原子),因此可在室温下高效、低功耗运行。基于此,研究团队制备了金/κ-Ga₂O₃/NSTO铁电隧道结(FTJ),实现了超过10⁵的巨大隧穿电阻开关比(TER),性能远超同类铪基器件,且与标准半导体工艺兼容。

这项发现颠覆了‘宽禁带’与‘铁电性’互斥的传统认知,首次将两种重要功能统一于一种主流半导体材料之中。它不仅为设计新型多功能材料提供了新范式,更直接推动了功率-存储一体化芯片、可重构射频器件及类脑计算硬件的发展,具有重大基础意义与产业化前景。

DOI: 10.1126/sciadv.aec5225

标签: κ相 室温铁电性 宽禁带半导体 氧化镓 铁电隧道结